[发明专利]用以在处理腔室内支撑、定位及旋转基板的设备与方法有效
| 申请号： | 200880012921.2 | 申请日： | 2008-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101663101A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 布莱克·凯尔梅尔;亚历山大·N·勒纳;约瑟夫·M·拉内什;凯达尔纳什·桑格姆;库赫斯特·索瑞伯基 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/00 | 分类号： | B05C13/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;钟 强 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供支撑、定位及旋转基板的设备与方法。一实施例中，支撑基板的支撑组件包括上底板与下底板。基板浮动于上底板上方的气体薄层上。定位组件包括多个空气轴承边缘辊或气流气穴，用于以要求的方向在上底板上方内定位基板。多个斜向穿孔或气流气穴设于上底板中以让气体流过好旋转基板以确保处理过程的均匀加热。 | ||
| 搜索关键词： | 用以 处理 室内 支撑 定位 旋转 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于基板的基板支撑组件，其至少包含：底板，设以提供第一气流来提高所述基板；温度受控的热边缘阻挡件，至少部分围绕所述基板；及用于将所述基板定位于所述温度受控的热边缘阻挡件内的装置。
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