[发明专利]移动体装置

摘要

于投影单元(PU)的+X，-X侧，分别将复数个Z读头(76，74)以Y标尺的有效宽度的一半以下的间隔(WD)与X轴平行地排列成随时有各两个Z读头成对对向于晶圆载台上的Y标尺(反射面)。同时对向于标尺的两个Z读头所构成的读头对中的优先读头的测量值，在优先读头的测量值因读头的动作不良等导致异常的情形时，使用另一读头的测量值，而可稳定且高精度地测量载台在至少Z轴方向的位置信息。

主权项

1.一种移动体装置，包含实质沿既定平面移动的移动体，其特征在于，所述移动体装置包括：反射面，配置于所述移动体与所述移动体外部中的一方，以与所述既定平面平行的面内的第1方向为长边方向，且于与所述第1方向正交的第2方向具有既定宽度；以及测量装置，在配置于所述反射面上的复数个测量点测量所述移动体在与所述既定平面正交的第3方向的位置信息；所述复数个测量点的配置，设定成所述复数个测量点中的n点(n为2以上的整数)以上位于所述反射面上的所述既定宽度内，且在所述移动体位于既定位置时，所述复数个测量点中的n+1点以上位于所述反射面上的所述既定宽度内。