[发明专利]弹性波元件有效
| 申请号： | 200880013992.4 | 申请日： | 2008-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101669285A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 岩崎行绪;上口洋辉;滨冈阳介 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H01L41/18;H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张劲松 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的弹性波元件，具备：压电基板、设置于压电基板上的梳形电极、覆盖梳形电极的氧化硅膜、设置于氧化硅膜上的氮氧化硅膜。氧化硅膜的膜厚H和在压电基板传播的弹性波的波长λ满足H/λ≥0.15的关系。该弹性波元件抑制弹性波的传播特性的变动，具有高可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 元件 | ||
【主权项】：
1、一种弹性波元件，其具备：压电基板、设置于所述压电基板上的梳形电极、覆盖所述梳形电极的氧化硅膜、设置于所述氧化硅膜上的氮氧化硅膜，所述氧化硅膜的膜厚H和在所述压电基板传播的弹性波的波长λ满足H/λ≥0.15的关系。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880013992.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
