[发明专利]在氮化铌上包括氧化钽层的构造及装置及其产生方法无效
申请号: | 200880014079.6 | 申请日: | 2008-04-29 |
公开(公告)号: | CN101675489A | 公开(公告)日: | 2010-03-17 |
发明(设计)人: | 维什瓦纳特·巴特 | 申请(专利权)人: | 美光科技公司 |
主分类号: | H01G4/12 | 分类号: | H01G4/12;H01L21/02 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 沈锦华 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本文揭示包括邻近于氮化铌(30)的氧化钽层(50)的方法、构造及装置。在某些实施例中,氮化铌是晶形的且具有六边形密堆积结构。任选地,所述氮化铌可具有表面(35),所述表面包括邻近于其至少一部分的氧化铌(40)。在某些实施例中,所述氧化钽层是经结晶学取向的且具有六边形结构。 | ||
搜索关键词: | 氮化 包括 氧化 构造 装置 及其 产生 方法 | ||
【主权项】:
1、一种构造,其包含:包含氮化铌的电极;及邻近于所述电极的至少一部分的氧化钽层。
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