[发明专利]在氮化铌上包括氧化钽层的构造及装置及其产生方法无效

专利信息
申请号: 200880014079.6 申请日: 2008-04-29
公开(公告)号: CN101675489A 公开(公告)日: 2010-03-17
发明(设计)人: 维什瓦纳特·巴特 申请(专利权)人: 美光科技公司
主分类号: H01G4/12 分类号: H01G4/12;H01L21/02
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 代理人: 沈锦华
地址: 美国爱*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本文揭示包括邻近于氮化铌(30)的氧化钽层(50)的方法、构造及装置。在某些实施例中,氮化铌是晶形的且具有六边形密堆积结构。任选地,所述氮化铌可具有表面(35),所述表面包括邻近于其至少一部分的氧化铌(40)。在某些实施例中,所述氧化钽层是经结晶学取向的且具有六边形结构。
搜索关键词: 氮化 包括 氧化 构造 装置 及其 产生 方法
【主权项】:
1、一种构造,其包含:包含氮化铌的电极;及邻近于所述电极的至少一部分的氧化钽层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美光科技公司,未经美光科技公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200880014079.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top