[发明专利]用于多边形断裂的基于斯坦纳树的方法有效
| 申请号： | 200880014224.0 | 申请日： | 2008-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101689215A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 苏清;卢洋奎;查尔斯·C·江 | 申请（专利权）人： | 新思科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华;陈宇萱 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 总体上，描述了针对为预备掩模布局使用的掩模准备的方法，所述预备掩模布局包括起始多边形，该起始多边形的顶点包括I点(具有内角大于90度的起始多边形的顶点)，包括至少在起始多边形的I点上发展直线分割树的步骤，并且利用该分割树的边定义为掩模写将起始多边形成为子多边形的分割。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多边形 断裂 基于 斯坦 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于掩模数据准备的方法，其与包括起始多边形的预备掩模布局一同使用，所述起始多边形包括多个连接起始多边形顶点对的边界段，所述起始多边形具有内部，其中所述起始多边形的顶点包括至少一个I点，每个I点具有严格大于90度的内角，所述方法包括步骤：发展具有多个节点和连接节点对的多个边的直线分割树，所述多个节点包括所述起始多边形的所有I点，所述多个边至少包括连接到每个I点的一个边；输出多个子多边形，其共同地分割所述起始多边形，所有所述子多边形的所有边或是位于所述起始多边形的边界上，或是位于所述分割树的边上，或是二者兼有。
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