[发明专利]移动体装置、图案形成装置及曝光装置、以及元件制造方法

摘要

于投影单元PU的+X，-X侧，分别将多个Y读头(65，64)以Y标尺的有效宽度的一半以下的间隔WD与X轴平行地排列成随时有各两个读头成对对向于晶片载台上的一对Y标尺。同样地，于投影单元PU的+Y，-Y侧，分别将多个X读头66以间隔WD与Y轴平行地排列成随时有各两个读头成对对向于X标尺。同时对向于标尺的两个读头所构成的读头对中的优先读头的测量值，在优先读头的测量值因附着于标尺表面的杂质等导致异常的情形时，是使用另一读头的测量值。使用两个Y读头对与一个X读头对稳定且高精度地测量晶片载台在二维平面内的位置。

主权项

1.一种移动体装置，包含实质沿既定平面移动的移动体，其特征在于，具备：标尺，配置于所述移动体与所述移动体外部中的一方，具有以与所述既定平面平行的面内的第一方向为长边方向、且于与所述第一方向正交的第二方向具有既定宽度的光栅部；测量装置，具有配置于所述移动体的移动区域的多个测量点，所述多个测量点中的n点以上位于所述标尺上的所述既定宽度内，其中n为2以上的整数，且在所述移动体位于既定位置时设定为所述多个测量点中的n+1点以上位于所述标尺上的所述既定宽度内，通过将测量光照射于配置在所述既定宽度的标尺上的测量点，测量所述标尺在所述光栅部的周期方向的位置信息；以及控制装置，优先使用位于所述标尺的所述既定宽度内的所述n点以上的测量点、或在所述移动体位于所述既定位置时位于所述标尺的所述既定宽度内的所述n+1点以上的测量点中，包含在第一测量点的测量信息的第一测量信息进行所述移动体的位置控制，且在位于所述标尺的所述既定宽度内的测量点的测量信息因所述标尺异常而产生异常时，将优先使用于所述移动体的位置控制的测量信息，切换成包含在与所述第一测量点不同的第二测量点的测量信息的第二测量信息。