[发明专利]用真空延伸室储放遮盘的传输室有效
| 申请号： | 200880014987.5 | 申请日： | 2008-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101674893A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 杰森·沙勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/00 | 分类号： | B05C11/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;钟 强 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明关于一种用于处理半导体基板的设备组。本发明的一实施例提出一种用于设备组的主框架，其包含内设有基板传输机械手的传输室。基板传输机械手经配置以将基板来回移动于一或多个直接或间接连接至传输室的处理室之间。主框架还包含遮盘架，其经配置以储放待用于一或多个处理室的一或多个遮盘，其中基板传输机械手可进入遮盘架，从而，基板传输机械手可将一或多个遮盘传输于遮盘架与一或多个直接或间接连接至传输室的处理室之间。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 延伸 室储放遮盘 传输 | ||
【主权项】：
1.一种用于设备组的主框架，包含：传输室，内设有基板传输机械手，其中所述基板传输机械手经配置以将基板来回移动于直接或间接连接至所述传输室的一或多个处理室之间；以及遮盘架，经配置以储放待用于所述一或多个处理室中的一或多个遮盘，其中所述基板传输机械手可进入所述遮盘架，从而，所述基板传输机械手得以传输所述一或多个遮盘于所述遮盘架以及直接或间接连接至所述传输室的所述一或多个处理室之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880014987.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
