[发明专利]使用基于机械放大器的惯性马达的精确定位系统有效

专利信息
申请号: 200880016239.0 申请日: 2008-03-12
公开(公告)号: CN101681986A 公开(公告)日: 2010-03-24
发明(设计)人: 弗兰克·克拉埃森;弗朗索瓦·巴里洛特 申请(专利权)人: 锡德雷特技术公司
主分类号: H01L41/09 分类号: H01L41/09
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 葛 青
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 发明涉及使用基于机械放大器的惯性马达的精确定位系统,该机械放大器包括第一放大惯性子组件(20),该惯性子组件包括机械放大器(1)、压电激活构件(2)和配重件(3)。第二相对驱动子组件(21),包括夹具(15)和附接到第一惯性子组件(20)的被夹持构件(24)。第一惯性子组件的非对称激励循环产生冲击力和被沿驱动方向(z)放大的运动,由此实现被夹持构件在夹具中的滑动和粘附的连续,以便产生点A和相对于点D的相对平移运动。机械放大器(1)增加了步长尺寸并减少了供应突入电流。点B相对于点D的精确和动态定位可以用使用放大器(1)的放大行程来实现。
搜索关键词: 使用 基于 机械 放大器 惯性 马达 精确 定位 系统
【主权项】:
1、一种精确定位系统,包括:第一惯性子组件(10,20,30,40,50,60,90abcd),包括至少一个压电激活元件(2)和至少一个惯性点(B,B′,B″),且该子组件能沿作动方向(z)在作动点(A,A1,A2)处产生冲击力和运动,第二相对驱动子组件(11,21,31,41,51,61,91),包括至少一个驱动构件和一个被驱动构件,这两个构件中的一个经由作动点(A,A1,A2)固定到第一惯性子组件(10,20,30,40,50,60,90abcd),电子电路(100),用于根据预定激励循环对第一惯性子组件的每个压电激活元件(2)供电,其特征在于:第一惯性子组件包括机械放大器(1),该放大器将压电激活元件(2)的运动放大,作动点(A,A1,A2)位于机械放大器(1)上,而不与压电激活元件(2)直接接合,驱动构件和被驱动构件是至少一个夹具(5,15,35,45,55,75,85abcd)和一个被夹持元件(4,24,54,76,95)的形式,以允许滑动-粘附运动。
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