[发明专利]模具、其制造方法及具有转印微细图案的基材的制造方法无效
| 申请号： | 200880017133.2 | 申请日： | 2008-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN101678572A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 角崎健太郎;川口泰秀;坂根好彦;庄子习一;水野润;片座慎吾 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B29C33/38 | 分类号： | B29C33/38;B29C59/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 冯 雅;胡 烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供具有透光性、脱模性、机械强度、尺寸稳定性、高精度的微细图案且微细图案的变形少的模具，可高尺寸精度地转印模具的微细图案且转印微细图案的变形少的具有转印微细图案的基材的制造方法。模具(10)具有透明基体(A)(12)、中间层(C)(14)和表面层(B)(16)；所述透明基体(A)(12)在形成有中间层(C)(14)的表面具有基于官能团(x)的化学键，其线膨胀系数与含氟聚合物(I)的线膨胀系数之间的差的绝对值不足30ppm/℃，热变形温度为100～300℃；所述中间层(C)(14)由主链中具有含氟脂肪族环结构且具有与官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物(II)形成；表面层(B)(16)由主链中具有含氟脂肪族环结构且实质上不具有反应性基团(y)的含氟聚合物(I)形成，在表面具有微细图案(18)。 | ||
| 搜索关键词： | 模具 制造 方法 具有 微细 图案 基材 | ||
【主权项】：
1.一种模具，它是用于对光固化性树脂进行成形的具有微细图案的模具，其特征在于，具有下述透明基体(A)、下述表面层(B)以及形成于所述透明基体(A)的表面且存在于所述透明基体(A)和所述表面层(B)之间的中间层(C)；透明基体(A)：形成中间层(C)之前在将形成中间层(C)的表面具有官能团(x)，形成中间层(C)之后在形成有中间层(C)的表面具有基于所述官能团(x)和下述反应性基团(y)的化学键，其线膨胀系数与下述含氟聚合物(I)的线膨胀系数之间的差的绝对值不足30ppm/℃，且热变形温度为100～300℃的透明基体；表面层(B)：由主链中具有含氟脂肪族环结构且实质上不具有下述反应性基团(y)的含氟聚合物(I)形成，在表面具有微细图案的层；中间层(C)：由主链中具有含氟脂肪族环结构且具有与所述官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物(II)形成的层。
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