[发明专利]光伏工厂的设备工件传送中的批次设备机器臂和方法

摘要

本发明大致包含可用于自动化大量(high volume)批次工件制造体系的设备，包含在每小时可生产1,000或更多工件的高产率工厂体系中进行工件操作以及工件处理。这些工件可以堆叠供给至平行阵列形式提供给该设备使用。此外，这些工件可以阵列至阵列的批次传送方式在制造体系间进行传送。这些工件可以平行至平行的批次传送方式在制造体系间进行传送。机器化运作可在机器臂装置之间、机器臂装置与处理设备之间和处理设备内进行。

主权项

1.一种光伏工件的批次传送设备，用来在处理工具中传送光伏工件，该设备包含：轨道，延伸在处理工具的多个腔室之间；第一机器臂，与该轨道耦接，用于在该轨道上移动；第一阵列末端作用器，设置在该第一机器臂上，该第一阵列末端作用器具有多个第一指部，在所述第一指部间可放置有一个或多个工件，使得该第一阵列末端作用器可沿着该轨道而在该处理工具内的多个腔室间移动；第二机器臂，与该轨道耦接，用于沿着该轨道而移动；以及第二阵列末端作用器，设置在该第二机器臂上，该第二阵列末端作用器具有多个第二指部，且每个所述第二指部在共同轴上与相对应的第一指部对齐，使得该第二阵列末端作用器可沿着与该第一阵列末端作用器相同的该轨道而在该处理工具内的多个腔室间移动，且使得每个该第二阵列末端作用器与该第一阵列末端作用器可移动进入共同腔室。