[发明专利]传送盒接口无效
| 申请号： | 200880018676.6 | 申请日： | 2008-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN101681865A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | E·戈多 | 申请（专利权）人： | 阿尔卡特朗讯公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 杨晓光;周良玉 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种传送盒(1)接口(6)，包括将要连接到气体分析器的取样探头(15)以及致动器(7)，所述致动器在耦合位置耦合到为所述传送盒(1)提供入口的门(5)，并在收回位置可以将所述门(5)移向所述接口(6)的基底(14)，其中在收回位置所述取样探头(15)可以探及包含在所述传送盒(1)内的有待分析的气体体积。本发明的特征在于所述接口包括至少一个密封(31)，其被配置为至少在所述收回位置提供所述致动器(7)与所述基底(14)之间的密封，以便隔离有待分析的气体体积。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 接口 | ||
【主权项】：
1.一种传送盒接口，包括将要连接到气体分析器的取样探头以及致动器，所述致动器在耦合位置与所述传送盒上的入口门耦合，并在收回位置将所述门移向所述接口的基底，其中在收回位置所述取样探头可以探及包含在所述传送盒内的有待分析的气体体积，所述接口包括至少一个密封接头，所述至少一个密封接头恒常接触板的与所述门耦合到的表面相反的表面以及所述基底的至少一个壁两者，并且所述接口被配置为确保至少在所述接口处于所述收回位置时，以隔离所述有待分析的气体体积的方式来密封所述致动器与所述基底之间的空间。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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