[发明专利]用于控制膜沉积的方法和设备无效
| 申请号： | 200880020151.6 | 申请日： | 2008-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN101754861A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 弗拉基米尔·布洛维奇;陈江龙;康纳尔·弗朗西斯·马迪根;马丁·A·施密特 | 申请（专利权）人： | 麻省理工学院 |
| 主分类号： | B41J2/32 | 分类号： | B41J2/32;B41J2/01 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 林月俊;安翔 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及一种在可以形成LED或其他类型显示器的衬底上沉积膜的方法。在一个实施例中，本公开涉及在衬底上沉积墨的设备。该设备包括：腔室，该腔室用于容纳墨；排放喷嘴，该排放喷嘴具有入口端口和出口端口，排放喷嘴在入口端口处接收来自腔室的一定数量的墨，并且分配来自出口端口的一定数量的墨；以及分配器，该分配器用于计量从腔室到排放喷嘴的入口端口的一定数量的墨；其中，该腔室接收具有多个悬浮颗粒的处于液体形式的墨，并且脉动地计量从腔室到排放喷嘴的所述数量的墨；以及排放喷嘴蒸发载液并且将固体颗粒沉积在衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 沉积 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于在衬底上精确沉积墨的系统，所述系统包括：存储装置，其用于存储载液中的墨颗粒的成分；计量装置，其与所述存储装置相连通，从而以脉动方式计量所述成分的至少一部分；传输装置，其用于将所述墨从所述腔室传输到排放喷嘴；蒸发装置，其用于蒸发所述载液，以在所述排放喷嘴处形成基本上为固体的一定数量的墨颗粒；以及排放装置，其用于将所述基本上为固体的墨颗粒从所述排放喷嘴排放到衬底上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麻省理工学院，未经麻省理工学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880020151.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种治疗淋巴结核的中药
- 下一篇：一种治疗消化道肿瘤的药及其制备方法
