[发明专利]兼容无定形碳光学吸收层的用于激光退火系统的高温计

摘要

在用于诸如半导体晶片的工件的激光退火系统中，高温计波长响应波段建立在位于激光发射波段与来自激光器系统的光学组件的荧光发射波段之间的窄的窗口内，高温计响应波段位于工件上的光学吸收器层在该处具有等于或大于下层工件的光学吸收系数的波长范围内。具有5-8nm波长的截止边缘跃变的多层剃刀边缘干涉滤波器提供在高温计响应波段的底部末端的激光发射的截止。

主权项

1.一种用于热处理工件的处理系统，包括：激光辐射源，其在激光波长处发射；光束分离反射表面，所述激光辐射源位于所述反射表面的第一侧；衬底支撑，其用于被热处理的衬底；投射光学元件，其布置在所述反射表面的所述第一侧与所述衬底支撑之间，所述反射表面和所述投射光学元件中的至少一者包括具有位于所述激光波长以上的荧光波长波段的材料；高温计，位于与所述第一侧相反的所述反射表面的第二侧上，所述高温计对于在以下波段内的波长敏感，所述波段位于(a)所述激光辐射波长与(b)所述荧光波长波段之间，其中，所述投射光学元件将所述衬底被热处理的区域成像在所述高温计上；以及剃刀边缘滤波器，其具有截止波长边缘跃变，所述滤波器调整频率以阻挡位于所述边缘跃变以下的波长并且使所述边缘跃变以上的波长通过，所述边缘跃变小于10nm宽，所述边缘跃变在所述激光波长以上并在所述高温计波长以下；高温计滤波器，其具有位于所述荧光波长以下的通带。