[发明专利]悬式膜压力传感阵列

摘要

描述了一种精确且低成本的宏压力传感器。该压力传感器包括形成在导体集交叉处的电容性传感元件阵列。下传感器集合由衬底支承，而上传感器集合被支承在柔性的聚合物膜上。电容性传感元件形成在上集合中的导体交迭下集合中的隔片之处。分隔件使上述的膜离开衬底有一间距，该间距因膜的挠曲而与向膜施加的压力相关地变化。结果，每个单元中导体的间距——并且因此电容——响应于所施加的压力而变化。通过使膜贴附到分隔件并随意任选地在膜中处于电容性传感元件之间的地方使用缝隙，就能使在每个电容性传感元件中进行的测量机械地解耦。

主权项

一种制作电容性多维传感装置的方法，所述方法包括：提供具有多个伸长的衬底电极的衬底、包括一个或更多个分隔件和一个或更多个开放部分的分隔层、以及具有多个伸长的膜电极的膜；使所述膜相对于所述衬底来取向以使得所述多个伸长的膜电极里至少两个之中的每一个与所述多个衬底电极里至少两个之中的每一个交叉，从而形成多维电容性元件阵列，并且使得所述分隔层的开放部分与所述电容性元件对齐；以及将所述分隔层贴附到所述膜。