[发明专利]用于制造位移刻度尺的系统和方法有效
申请号: | 200880021241.7 | 申请日: | 2008-06-18 |
公开(公告)号: | CN101688794A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
发明(设计)人: | 丹尼尔·H·卡尔森;达莱·L·埃内斯;丹尼尔·S·沃茨;路易斯·A·阿吉雷;利文特·伯耶克勒;艾伦·B·坎贝尔 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | G01D5/34 | 分类号: | G01D5/34;G01B11/02;G02B5/04;G03F9/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 梁晓广;关兆辉 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明描述了一种用于在基底上形成包括全内反射棱镜的位移刻度尺的方法和系统。用于形成所述位移刻度尺的系统包括一个或多个具有负突起形式的全内反射(TIR)棱镜特征物图案的辊。当所述辊旋转时,所述刻度尺在所述基底上形成。所述辊还可以包括负突起形式的图案特征。旋转所述辊在所述基底上同时形成所述位移刻度尺和所述图案特征。可取向所述位移刻度尺的所述全内反射棱镜特征从而提供横向位移、纵向位移和角位移的一个或多个的测量。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 位移 刻度尺 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于在基底上形成位移刻度尺的系统,包括:一个或多个辊,所述一个或多个辊具有负突起形式的全内反射棱镜特征;以及驱动机构,所述驱动机构被构造用于旋转所述辊,使得包括全内反射棱镜特征的位移刻度尺在所述基底上形成。
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