[发明专利]使用高强度和高功率超声波增强等离子体表面改性有效
| 申请号： | 200880021739.3 | 申请日： | 2008-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101743785A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 尼尔斯·克雷布斯;A·巴登施泰恩;草野行弘;H·宾德斯雷弗;H·J·莫藤森 | 申请（专利权）人： | 力技术公司;丹麦科技大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘倜 |
| 地址： | 丹麦布*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | 本发明涉及一种固体物体(100)的等离子体表面改性工艺(以及相应的系统)，其包括：通过等离子源(106)产生等离子体(104)，将等离子体(104)施加到固体物体(100)的至少一部分表面(314)，通过至少一个超声的高强度和高功率声波发生器(101)产生超声的高强度和高功率声波(102)，其中该超声波被指引朝向物体(100)的所述表面(314)传播，使得对于所述表面(314)的至少一部分，与所述固体物体(100)接触的气体或气体混合物(500)流的层流边界层被减薄或破坏。以此方式，等离子体可以更有效地到达和影响要被等离子体处理的固体物体的表面，这显著地加快了处理时间。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 强度 功率 超声波 增强 等离子体 表面 改性 | ||
【主权项】：
一种固体物体(100)的等离子体表面改性的方法，包括：-通过至少一个等离子源(106)产生等离子体(104)，以及-向固体物体(100)的至少一部分表面(314)施加等离子体(104)，其特征在于，该方法还包括：-通过至少一个超声的高强度和高功率气体喷射声波发生器(101)，产生超声的高强度和高功率声波(102)，所述超声的高强度和高功率声波朝向物体(100)的所述表面(314)传播，使得对于所述表面(314)的至少一部分，与所述固体物体(100)接触的气体或气体混合物(500)的层流边界层(313)被去除或最小化，以及其中所产生的超声的高强度和高功率声波(102)的声压级为至少约140dB，以及其中所产生的超声的高强度和高功率声波(102)的声功率为至少约100W。
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