[发明专利]清洁方法及装置有效
| 申请号： | 200880021905.X | 申请日： | 2008-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN101687228A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 姚福发 | 申请（专利权）人： | 佳益私人有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/00;B08B3/14;H01L21/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于清洁由支撑件保持的物品，该方法包括下列步骤：施加声波到所述物品和支撑件上；旋转所述物品和支撑件使得之前该物品被支撑件遮蔽的区域被暴露到所述声波。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洁至少一个基片的清洁模块，该模块包括可操作以关于所述至少一个基片沿径向路径移动的至少一个刷。
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