[发明专利]微机电系统和采用该微机电系统的光子互连无效
| 申请号： | 200880022532.8 | 申请日： | 2008-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101687630A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | S·-Y·王;R·S·威廉斯;T·莫里斯;M·西格拉斯 | 申请（专利权）人： | 惠普开发有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B3/00;G02B6/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李 娜;王洪斌 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的各种实施例针对微机电系统和采用微机电系统的光子互连。本发明的一个微机电系统实施例包含透镜结构(1704)和致动器。透镜结构包含具有柔性弯曲表面的基本透明膜(1710)和流体耦合到该膜的装有流体的储存器(1708、1710)。致动器系统在操作中耦合到储存器以便对流体施加压力来改变该膜的曲率和透镜结构的焦点。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 采用 光子 互连 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(600)，包括：膜(602)，其具有被配置成反射电磁辐射束的柔性凹表面；衍射光栅(606)，其被配置成将从所述膜反射的所述电磁辐射束分成一个或多个电磁辐射束；以及膜致动器系统(604)，其在操作中耦合到所述膜，所述膜致动器系统用于改变所述膜的曲率并将所述电磁辐射束引导到所述衍射光栅上。
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