[发明专利]具有与机械及电功能分离的光学功能的微机电装置无效
| 申请号： | 200880023131.4 | 申请日： | 2008-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN101855586A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 克拉伦斯·徐;威廉·卡明斯;布莱恩·J·加利;利奥尔·科格特;董明皓;董叶俊;姜志伟;丹尼斯·恩迪施 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种微机电(MEMS)装置(1300)，其包含衬底(20)、所述衬底(20)上的可移动元件(1340)及所述可移动元件(1340)上的激活电极(142)。所述可移动元件(1340)包含可变形层(1302)及反射元件(1314)。所述可变形层(1302)与所述反射元件(1314)间隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 机械 功能 分离 光学 微机 装置 | ||
【主权项】：
一种微机电(MEMS)装置，其包括：衬底；所述衬底上的可移动元件，所述可移动元件包括可变形层及反射元件，所述可变形层与所述反射元件间隔开；以及所述可移动元件上的激活电极。
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