[发明专利]压电薄膜共振元件以及利用它的电路部件有效
| 申请号： | 200880023285.3 | 申请日： | 2008-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101689845A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 西原时弘;原基扬;谷口真司;岩城匡郁;横山刚;上田政则 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵 飞;南 霆 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 压电薄膜共振元件(1)具有共振部，该共振部具有椭圆的平面形状，由在下表面电极(3)和上表面电极(5)这两个电极之间夹入压电膜(4)的层叠构造而形成，其中，下表面电极(3)在外周上具有以25°到55°的范围内的规定角度(例如大约30°)倾斜的倾斜部(3a)，上表面电极(5)具有椭圆的平面形状。在上表面电极(5)的面对下表面电极(3)的倾斜部(3a)的位置的一部分上设置附加膜(8)，由此使得共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)的层叠厚度中的一部分的层叠厚度HC大于共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)靠内侧部分的层叠厚度HA。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 共振 元件 以及 利用 电路 部件 | ||
【主权项】：
1.一种压电薄膜共振元件，具有由压电膜、下表面电极、以及上表面电极的层叠构造形成的共振部，其中，所述压电膜具有规定的平面形状，所述下表面电极形成于该压电膜的下表面上并在外周上具有相对于膜表面以规定的角度倾斜的倾斜部，所述上表面电极形成于所述压电膜的上表面上，所述压电薄膜共振元件的特征在于，所述倾斜部的角度被设定在25°到55°的范围内。
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