[发明专利]精制硅的制造方法

摘要

本发明由C_10max和Y₀预先求得满足下式(1)的标准温度梯度(T₀)和标准凝固速度(R₀)。k＝{K₁×Ln(R₀)+K₂}×{K₃×exp[K₄×R₀×(K₅×C₂+K₆)]}×{K₇×T₀+K₈}-K₉ (1)[k为选自按照满足式(2)而求得的铝有效分配系数k’的0.9倍～1.1倍范围的系数，C_10max＝k′×C₂×(1-Y₀)^k′-1 (2)(k’为铝有效分配系数、C₂为原料硅熔融液的铝浓度。)

主权项

1.一种精制硅(1)的制造方法，其为通过在铸模(3)内在将温度梯度(T)设为单向的状态下对含铝的原料硅熔融液(2)进行冷却，获得含有铝浓度(C)为目标最大铝浓度(C10max(ppm))以下的精制硅区域(41)和超过目标最大铝浓度(C10max)的粗硅区域(45)的硅方向凝固物(4)，从所得硅方向凝固物(4)中切除粗硅区域(45)获得铝浓度(C(ppm))为目标最大铝浓度(C10max)以下的精制硅(1)的方法，其特征在于，预先由目标最大铝浓度(C10max)、用上述精制硅(1)的质量(M1)与所用原料硅熔融液(2)的质量(M2)之比(M1/M2)表示的成品率目标值(Y0)求得满足下式(1)的标准温度梯度(T0(℃)/mm)和标准凝固速度(R0(mm/分)，在设为该标准温度梯度(T0)±0.1℃/mm范围的温度梯度(T)的状态下，对原料硅熔融液(2)进行冷却使得其以该标准凝固速度(R0)±0.01mm/分范围的凝固速度(R)进行凝固，k＝{K1×Ln(R0)+K2}×{K3×exp[K4×R0×(K5×C2+K6)]}×{K7×T0+K8}-K9(1)式中，k为选自按照满足式(2)而求得的铝有效分配系数k’的0.9倍～1.1倍范围的系数，C10max＝k′×C2×(1-Y0)k′-1(2)式中，C10max表示精制硅的目标最大铝浓度(ppm)、k’表示铝有效分配系数、C2表示原料硅熔融液的铝浓度(ppm)、Y0表示成品率的目标值，K1表示选自1.1×10-3±0.1×10-3范围的常数、K2表示选自4.2×10-3±0.1×10-3范围的常数、K3表示选自1.2±0.1范围的常数、K4表示选自2.2±0.1范围的常数、K5表示由-1.0×10-3±0.1×10-3的范围得到的常数、K6表示选自1.0±0.1范围的常数、K7表示选自-0.4±0.1范围的常数、K8表示选自1.36±0.01范围的常数、K9表示选自2.0×10-4±1.0×10-4范围的常数、R0表示标准凝固速度(mm/分)、T0表示标准温度梯度(℃/mm)。