[发明专利]将基板置中设置于处理室内的设备及方法

摘要

本发明包含一种用于将基板置中设置于处理室内的设备及方法。在一具体实施例中，上述设备包含：基板支撑件，其具有适以承接基板的支撑表面，及基本上垂直于支撑表面的参考轴；以及多个置中构件，延伸而高于上述支撑表面。每一个置中构件可经偏置至第一位置，且可通过对向构件的作用而移动至第二位置。在第一位置及第二位置之间的移动可导致每一置中构件能够可释放地与基板的外围边缘接合，以将基板朝向参考轴的方向推动。

主权项

1、一种用于将基板定位于处理室中的设备，包含：基板支撑件，具有承接所述基板的支撑表面；以及多个置中构件，相对于基本上垂直于所述支撑表面的参考轴而置中设置所述基板，其中所述多个置中构件沿着所述支撑表面的外围可移动地配置，且所述多个置中构件的每一个都包含：第一端部，接触所述基板的外围边缘，其中所述第一端部可以在第一位置及第二位置之间移动，由所述第一位置向所述第二位置的移动导致所述置中构件脱离所述基板的所述外围边缘，以及由所述第二位置向所述第一位置的移动导致所述置中构件在朝向所述参考轴的方向推动所述基板。