[发明专利]薄板输送装置、薄板处理输送系统及薄板输送方法

摘要

薄板输送装置包括：装置主体(17)，设在第一处理工位与上述第二处理工位之间的输送工位上；浮起单元，设在上述装置主体上并使薄板浮起；以及多个输送臂(35)，向X轴方向可移动且向Y轴方向隔开间隔设在装置主体(17)上，并向X轴方向延伸，在各输送臂(35)的X轴方向的一端侧分别设有在从第一薄板处理装置(3A、3B、3C)向装置主体(17)侧拉出薄板(W)时吸附薄板(W)的后表面的第一吸附垫(47)，在各输送臂(35)的X轴方向的另一端侧分别设有在从装置主体(17)向第二薄板处理装置(5A、5B、5C)送出薄板(W)时吸附薄板(W)的后表面的第二吸附垫(49)。

主权项

一种薄板输送装置，包括以下部件：第一薄板处理装置，配设在第一处理工位上，并对薄板进行处理；第二薄板处理装置，配设在与上述第一处理工位沿X轴方向隔离的第二处理工位上，并对薄板进行处理；装置主体，设在上述第一处理工位与上述第二处理工位之间的输送工位上；浮起单元，设在上述装置主体上并使薄板浮起，并且用于在上述第一薄板处理装置与上述第二薄板处理装置之间，以使上述薄板浮起的状态进行输送；多个输送臂，可向X轴方向移动且向Y轴方向隔开间隔地设在上述装置主体上，并向X轴方向延伸；臂移动用驱动器，使多个上述输送臂向X轴方向移动；第一吸附垫，分别设在上述各输送臂的X轴方向的一端侧，并且在从上述第一薄板处理装置向上述装置主体侧拉出薄板时吸附薄板的后表面或前表面；以及，第二吸附垫，分别设在上述各输送臂的X轴方向的另一端侧，并且在从上述装置主体侧向上述第二薄板处理送出薄板时吸附薄板的后表面或前表面。