[发明专利]具有成形轮廓的保持环有效
| 申请号： | 200880025270.0 | 申请日： | 2008-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN101778697A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 高帕拉克里什那·B·普拉霍;原茵;俊宏·欧;格雷戈里·E·曼克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 赵飞;南霆 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有弯曲或倒角表面的保持环。当保持环用于抛光处理时，弯曲表面可以避免对于固定磨蚀粒的抛光垫的损坏。弯曲或倒角表面位于环的底表面上，例如沿着外径与/或沿着形成在环的底部中的通道的侧壁。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 成形 轮廓 保持 | ||
【主权项】：
一种用于化学机械抛光的保持环，其包括：环状环，其具有底表面以用于在抛光期间接触抛光垫，其中所述底表面具有多个通道，每一个所述通道由多个侧壁所界定，位于至少一个所述侧壁与所述底表面之间的至少一个拐角具有第一弯曲半径，并且位于所述环状环的外径与所述底表面之间的拐角具有第二弯曲半径。
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