[发明专利]等离子体反应器有效
| 申请号： | 200880025328.1 | 申请日： | 2008-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN101755322A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | G·P·奈特;A·钱伯斯 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 庞立志;韦欣华 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 等离子体反应器包括反应室和连接到反应室的入口头。入口头包括连接到反应室的开口端，位于与开口端相对的等离子体入口，从开口端向等离子体入口逐渐变小的内表面，和各自位于等离子体入口和开口端之间的第一和第二气体入口。等离子炬通过等离子体入口将等离子体物流注入到反应室中，所述等离子体入口被成形为使得等离子体物流朝着第一和第二气体入口向外散布。入口头和等离子体入口的这种成形能够使得等离子体物流可以撞击到气体物流上，当它们从气体入口离开时，并且由此引起相当大比例的气体物流的至少一种组分在气体物流开始在室内混合前进行反应。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应器 | ||
【主权项】：
一种等离子体反应器，包括：反应室；入口头，其具有连接到反应室的开口端，位于与开口端相对的等离子体入口，从开口端向等离子体入口逐渐变小的内表面，和各自位于等离子体入口和开口端之间的第一和第二气体入口；和用于通过等离子体入口将等离子体物流注入反应室的等离子炬；其中，等离子体入口被成形为使得等离子体物流朝着气体入口向外散布。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于爱德华兹有限公司，未经爱德华兹有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880025328.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
