[发明专利]原料气体的供给系统以及成膜装置

摘要

原料气体供给系统(6)，对成为减压环境的气体使用系统(2)供给原料气体。系统具有：存留液体原料或者固体原料的原料罐(40)、一端与原料罐连接而另一端与气体使用系统连接的原料通路(46)、向原料罐内供给运载气体的运载气体供给机构(54)、在原料通路的中途设置的开闭阀(48，50)、加热原料通路以及开闭阀的加热器(64)、控制加热器的温度控制部(92)。原料通路以及上述开闭阀使用具有良好导热性的金属材料形成。

主权项

一种原料气体的供给系统，对成为减压环境的气体使用系统供给原料气体，其特征在于，具备：存留液体原料或者固体原料的原料罐；一端与上述原料罐连接、另一端与上述气体使用系统连接的原料通路；与上述原料罐连接、边进行流量控制边向上述原料罐内供给运载气体的运载气体供给机构；在上述原料通路的中途设置的开闭阀；加热上述原料通路以及上述开闭阀的加热器；控制上述加热器的温度控制部，上述原料通路以及上述开闭阀分别利用具有良好的导热性的金属材料来形成。