[发明专利]微机械转动率传感器有效
| 申请号： | 200880101330.2 | 申请日： | 2008-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101855516A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | H·哈默 | 申请（专利权）人： | 传感器动力学股份公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 奥地利格拉*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械科氏转动率传感器，用于检测绕在下面被称为X轴线的测量轴线的转动率，该微机械科氏转动率传感器具有衬底、振动结构以及用于产生绕与该测量轴线正交的激励轴线(Z轴线)的转动振动的装置，其中，该振动结构借助于内部的第一悬置装置或借助于中央的悬置装置可转动地与该衬底连接，由此，该振动结构可绕转动点相对于该衬底进行转动振动，其中，还设置有至少一对第二悬置装置，这些第二悬置装置使该振动结构与该衬底连接并且设置在该转动点的彼此对置的侧，其中，所述至少一对第二悬置装置与所述内部的第一悬置装置或所述中央的悬置装置相比到该转动点设置在更大的径向距离上，以便提供一种微机械科氏转动率传感器，该微机械科氏转动率传感器在对绕一个或多个转动方向的转动率的敏感度足够的情况下具有可依转动轴线而定地构造的响应特性，该微机械科氏转动率传感器同时在该测量方向上或这些测量方向上(绕一个探测轴线)对外部冲击和振颤作用具有足够的稳健性，以便尽可能满足电子信号处理的要求并且尤其是克服振动结构粘附在衬底上的危险。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 转动 传感器 | ||
【主权项】：
微机械科氏转动率传感器，用于检测绕测量轴线(4)(X轴线)的转动率，该微机械科氏转动率传感器具有衬底(1)、振动结构(2)以及用于产生该振动结构绕与该测量轴线(4)正交的激励轴线(5)(Z轴线)的转动振动的装置，其中，该振动结构(2)借助于内部的第一悬置装置(3a，3b，11a，11b)或中央的悬置装置(3，11a，11b)可转动地与该衬底(1)连接，由此，该振动结构可绕优选与该振动结构(2)的质心重合的转动点相对于该衬底(1)进行转动振动，其特征在于：设置有至少一对第二悬置装置(14a，14b，10a，10b)，所述至少一对第二悬置装置使该振动结构(2)与该衬底(1)连接，其中，其悬置装置(14a，14b，10a，10b)设置在该转动点的彼此对置的侧，所述至少一对第二悬置装置与所述内部的第一悬置装置或所述中央的悬置装置相比到该转动点设置在更大的径向距离上。
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