[发明专利]三维测量装置和基板检查机

摘要

本发明的课题在于提供能够增加可测定的高度范围，并且可实现高精度的测量，并且可将摄像次数抑制在最小限，进而可实现测量(或检查)效率的提高的三维测量装置和基板检查机。基板检查机(1)包括放置印刷有焊锡膏的印刷基板(K)的传送器(2)；从斜上方照射规定的光图案的照射机构(3)；对上述已照射的区域进行摄像的CCD照相机(4)；控制装置(7)。通过相位移法，测量测量对象部的高度，但是，在此之前，通过空间编码化法，指定相当于与测量对象部相对应的条纹的空间编码号。另外，预先读入库数据，根据测量对象部的大致高度，确定空间编码化法用的摄像次数。可通过最小限的摄像次数，实现精度高的三维测量。

主权项

一种三维测量装置，其包括：照射机构，该照射机构可对基板主体上的测量对象部照射相位移法用的条纹状的光图案和空间编码化法用的条纹状的光图案；摄像机构，该摄像机构可对照射了上述光图案的测量对象部进行摄像；摄像控制机构，该摄像控制机构对基于上述摄像机构的摄像进行控制；第1运算机构，该第1运算机构根据通过上述摄像机构摄制的多个图像数据，通过相位移法，至少对上述测量对象部的高度进行运算；第2运算机构，该第2运算机构可根据通过上述摄像机构摄制的图像数据，通过空间编码化法，指定基于上述相位移法的上述第1运算机构的运算时的图像数据中的与上述测量对象部相对应的条纹；其特征在于上述摄像控制机构根据上述测量对象部的高度信息或基本高度信息，确定基于上述空间编码化法用的光图案的照射的基于上述摄像机构的摄像次数，进行已确定的摄像次数的摄像。