[发明专利]真空装置用异常放电抑制装置有效
| 申请号： | 200880101792.4 | 申请日： | 2008-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN101772992A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 让原逸男;高柳敦 | 申请（专利权）人： | 株式会社京三制作所 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H01L21/3065;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种抑制真空装置的异常放电的装置，所述真空装置从高频电源向等离子体反应室内供给电力进行成膜处理，所述抑制异常放电的装置具有电力控制部和切断控制部，前者根据电力指令值和电力反馈值的偏差控制高频电源，后者根据等离子体反应室内的异常放电的检测，切断从高频电源向等离子体反应室的电力供给。切断控制部进行切断时间不同的第一操作切断控制和第二操作切断控制。第一操作切断控制使可能在等离子体反应室内残存离子，在起弧因素消失的时间范围内切断控制高频电源。另一方面，第二操作切断控制在异常电弧离子消灭的时间范围内切断控制高频电源。由此对于等离子体稳定地供给电力。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 异常 放电 抑制 | ||
【主权项】：
一种真空装置用异常放电抑制装置，其是抑制从高频电源向等离子体反应室内供给电力来生成等离子体的真空装置的异常放电的装置，其特征在于，具有：电力控制部，其根据电力指令值和电力反馈值的偏差控制所述高频电源；和切断控制部，其检测在等离子体反应室内异常放电时、以及向异常放电的转移过程时的至少某一个时期发生的反射波电力或者反射波电压，来切断从所述高频电源向等离子体反应室的电力供给，所述切断控制部，包含使切断时间的时间范围不同的第一操作切断控制和第二操作切断控制，所述第一操作切断控制，使可能在等离子体反应室内残存离子，在少数电弧的起弧因素消灭的时间范围内切断控制高频电源，所述第二操作切断控制，在异常放电时的多数电弧的离子消灭的时间范围内切断控制高频电源。
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