[发明专利]用于激光镜的热畸变补偿

摘要

本发明公开一种激光镜组件，其具有改善的指向稳定性。细长的镜包括凹形反射部分。一对细长平面部分平行于所述凹形反射部分并在其任何一面上延伸。平面部分从反射部分下降。该镜由铜形成。一对不锈钢条带(40)与平面部分(26)连接。铜镜和不锈钢条带(40)之间的双金属效应操作以抵消镜的扭曲，所述镜的扭曲是由于在操作过程中产生的差温加热效应而导致的。在可选择的实施方案中，一对铝条带设置在镜的背面上。

主权项

一种用于在气体放电激光器中支承端镜的管座组件，包括：凸缘，包括面向所述放电的内表面和相对的外表面，所述凸缘包括镜支承体，所述镜支承体包括位于所述凸缘的所述内表面以附接于镜元件的柱，所述镜支承体还包括位于所述凸缘的所述外表面上的镜倾斜调整机构；细长的镜元件，其基本上由金属材料形成，并且在所述镜元件的所述背面附接于所述镜支承体的所述柱，所述镜元件的前面包括用于控制光的传播的细长弯曲反射部分，所述前面还包括平行于所述弯曲部分延伸的至少一个平坦表面；以及细长条带，其与所述镜元件的所述平坦表面连接，所述条带由热膨胀系数小于形成所述镜元件的所述金属材料的热膨胀系数的金属材料形成。