[发明专利]导电纳米膜及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器有效
申请号: | 200880102146.X | 申请日: | 2008-04-03 |
公开(公告)号: | CN101801839A | 公开(公告)日: | 2010-08-11 |
发明(设计)人: | 金龙协;李廷勋;姜泰俊;张议允 | 申请(专利权)人: | SNU研发业务基金会 |
主分类号: | B82B1/00 | 分类号: | B82B1/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 谢顺星 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及导电纳米膜以及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器,更具体地,涉及通过堆叠聚合物电解质膜和碳纳米管层形成的导电纳米膜,以及使用该导电纳米膜的MEMS传感器。 | ||
搜索关键词: | 导电 纳米 使用 微机 系统 传感器 | ||
【主权项】:
一种导电纳米膜,其包括:下部聚合物电解质膜;和形成于所述聚合物电解质膜上的碳纳米管层,碳纳米管的网络形成于所述碳纳米管层中。
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