[发明专利]用于连续真空涂布网幅式材料的系统和方法无效
| 申请号： | 200880102767.8 | 申请日： | 2008-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN101778963A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | F·比柳恩达斯尤斯特;R·阿隆索埃斯特万;I·萨利纳斯阿里斯;G·伊达尔戈利纳斯 | 申请（专利权）人： | 诺沃热尼奥公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 苗征;于辉 |
| 地址： | 西班牙*** | 国省代码： | 西班牙;ES |
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| 摘要： | 本申请公开了用于连续真空涂布可连续提供的网幅式材料(2)的系统(1)，该系统具有进给构件；至少一个输入室(4)，在其中进行输入大气压和涂布室(5)的真空压力之间的转变，涂布室(5)包括至少一个用于在网幅式材料上沉积金属和/或介电组分的真空沉积模块(6)；至少一个输出室(7)；和收集经涂布的网幅式材料的收集构件(8)。所述系统还包含驱动和支持构件(9)，网幅式材料通过其一个表面固定在所述驱动和支持构件上以运输，所述材料至少在通过涂布室时优选沿着直线路径。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 连续 真空 涂布网幅式 材料 系统 方法 | ||
【主权项】：
用于连续真空涂布并连续提供网幅式材料(2)的系统(1)，其包含：a)进给构件(3)，其提供待涂布的网幅式材料；b)至少一个输入室(4)，其中引入待涂布的网幅式材料，且在其中进行输入大气压和涂布室(5)的真空压力之间的转变；c)所述涂布室包括至少一个用于在网幅式材料上沉积金属和/或介电组分的真空沉积模块(6)；d)至少一个输出室(7)，在其中进行涂布室的真空压力和大气压之间的转变；和e)收集构件(8)，其收集经涂布的网幅式材料；其特征在于，所述系统还包含驱动和支持构件(9)，网幅式材料通过其一个表面固定在所述驱动和支持构件上以运输，至少通过涂布室。
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