[发明专利]用于从废气流中除去至少一种氢硫属元素化合物的方法和设备无效
| 申请号： | 200880103862.X | 申请日： | 2008-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN101784328A | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | U·克鲁格尔 | 申请（专利权）人： | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/46 | 分类号： | B01D53/46;B01D53/52;B01D53/64;A62D3/30 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 用于净化半导体元件制造过程中的废气或工艺气体的方法，其中废气或工艺气体包含至少一种氢硫属元素化合物，所述氢硫属元素化合物包含以下至少一种：a)硫(S)；b)硒(Se)；c)碲(Te)；以及d)钋(Po)，其中在湿式洗涤器中通过将工艺气体导入至少一种碱的水溶液、向水溶液供给至少一种碱并从水溶液中提取输出废气流而使所述氢硫属元素化合物从工艺气体中除去，其特征在于控制所供给碱的量使得溶液的pH值大于12。根据本发明的设备(1)和方法能够有效地从半导体化合物如例如光生伏打模块的生产过程的废气中除去氢硫属元素化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 气流 除去 至少 一种 氢硫属 元素 化合物 方法 设备 | ||
【主权项】：
用于净化半导体元件制造过程的废气或工艺气体的方法，其中所述废气或工艺气体包含至少一种氢硫属元素化合物，所述氢硫属元素化合物包含以下至少一种：a)硫(S)；b)硒(Se)；c)碲(Te)；以及d)钋(Po)，其中通过以下步骤在湿式洗涤器中从工艺气体除去所述氢硫属元素化合物：-将工艺气体导入至少一种碱的水溶液中；-将至少一种碱供给至水溶液，以及-从水溶液中提取输出废气流，其特征在于，控制所供给碱的量使得溶液的pH值大于12。
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