[发明专利]通过化学气相沉积制备纳米复合材料的方法有效
申请号: | 200880104097.3 | 申请日: | 2008-07-18 |
公开(公告)号: | CN101784695A | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 索菲·马耶;劳伦特·比德尔;法布里斯·埃米厄 | 申请(专利权)人: | 原子能委员会 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30;C23C16/40 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 顾晋伟;王春伟 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 本发明涉及一种同时利用化学气相沉积和纳米颗粒的真空注入来制备纳米复合材料的方法以及由此获得的纳米颗粒及其用途。 | ||
搜索关键词: | 通过 化学 沉积 制备 纳米 复合材料 方法 | ||
【主权项】:
一种在基底的表面上形成由至少两种元素组成的纳米复合材料的方法,所述方法包括在气体的存在下的至少一个化学气相沉积步骤,其特征在于,所述步骤通过同时直接注入以下液体来进行:a)至少一种注入液体I1,所述注入液体I1由如下组成:i)所述元素之一的至少一种液体前体或ii)所述元素之一的至少一种前体在有机溶剂中的溶液;和b)另一元素的固体纳米颗粒,所述纳米颗粒以均相分散体的形式存在于所述注入液体I1和/或与所述注入液体I1分开的注入液体I2中。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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