[发明专利]多维位置传感器有效
| 申请号： | 200880104668.3 | 申请日： | 2008-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN102007366A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | M·霍泽克;C·霍夫梅斯特;A·克鲁皮谢夫;J·F·策特勒;S·瑟索夫;K·A·马查克 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动化公司 |
| 主分类号： | G01B7/14 | 分类号： | G01B7/14;G01B7/30;G01R33/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李娜;李家麟 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种装置，所述装置包括控制器、与控制器相连并具有可运动部分或运送路径的工件运送工具以及包括至少一个附接到可运动部分的场生成压板和至少一个沿运送路径定位并与控制器相连的传感器组的多维位置测量设备，场生成压板被配置成用于位置测量和推动可运动部分，至少一个传感器组中的每一传感器被配置为提供仅一个沿单个轴的对应于所感测的由至少一个场生成压板生成的场的输出信号，控制器被配置成基于至少一个传感器组中的至少一个传感器的仅一个输出信号计算可运动部分的多维位置，多维位置包括平面位置和间隙测量。 | ||
| 搜索关键词： | 多维 位置 传感器 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：控制器；与控制器相连的工件运送工具，该运送工具具有可运动部分和运送路径；以及多维位置测量设备，其包括至少一个附接到可运动部分的场生成压板和沿运送路径定位并与控制器相连的至少一个传感器组，其中场生成压板被配置为用于位置测量和推动可运动部分二者；其中该至少一个传感器组中的每一传感器被配置成提供仅一个与在所感测的场中沿单轴的变化相对应的输出信号，其中场由至少一个场生成压板生成，控制器被配置成基于该至少一个传感器组中的至少一个传感器的仅一个输出信号，计算邻近相应的该至少一个传感器组之一的可运动部分的多维位置，其中多维位置包括至少平面位置和工件运送工具与该至少一个传感器组之间的间隙。
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