[发明专利]具有减小的电流泄漏的半导体器件测试系统有效
| 申请号： | 200880106121.7 | 申请日： | 2008-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101796424A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 布拉德利·P·史密斯 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;陆锦华 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 测试电路(10)使用第一开关器件(38，58)和第二开关器件(42，62)来测试被测器件(DUT)(30，50，90，92)。被测器件(DUT)具有用于接收测试信号(漏极加载)的端子。第一开关器件(38，58)具有输出端子，该输出端子用于当正测试DUT时将测试信号(漏极加载)耦合到DUT(30，50，90，92)的端子。当没有测试DUT时，第一开关器件(38，58)处于高阻抗。当正测试DUT时，第二开关器件(42，62)处于高阻抗，并且当没有测试DUT时，第二开关器件(42，62)将偏置控制信号(漏极泄漏)耦合到第一开关器件(38，58)的输出端子。偏置控制信号基本上追踪测试信号。因为偏置控制信号导致第一开关器件上的偏置极小或者没有偏置，所以当正测试其他的DUT时第一开关器件的泄漏大大减小。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 减小 电流 泄漏 半导体器件 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种测试电路，包括：被测器件(DUT)，所述被测器件具有用于接收测试信号的端子；第一开关器件，所述第一开关器件具有输出端子，所述输出端子用于当正测试所述被测器件时将所述测试信号耦合到所述被测器件的所述端子，并且当没有测试所述被测器件时处于高阻抗；以及第二开关器件，当正测试所述被测器件时，所述第二开关器件处于高阻抗，并且当没有测试所述被测器件时，所述第二开关器件将偏置控制信号耦合到所述第一开关器件的所述输出端子，其中，所述偏置控制信号基本上追踪所述测试信号。
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