[发明专利]具有含介质鳍片的绝缘导体的离子植入机终端结构有效
| 申请号： | 200880106475.1 | 申请日： | 2008-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101802963A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 卡森·D·泰克雷特萨迪克;艾立克·D·赫尔曼森;道格拉斯·梅;史蒂夫·E·克劳斯;拉塞尔·J·罗 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/00 | 分类号： | H01J37/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种具有含介质鳍片的绝缘导体的离子植入机终端结构。在一实施例中，离子植入机终端结构可由含一个或多个介质鳍片的绝缘导体来实现。例如，离子植入机可包括配置成提供离子束的离子源。离子植入机还包括定义空腔的终端结构，其中离子源可至少部分地设置于空腔内。离子植入机还包括具有至少一介质鳍片的绝缘导体，此介质鳍片设置于终端结构的外部附近以改变电场。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 介质 绝缘 导体 离子 植入 终端 结构 | ||
【主权项】：
一种离子植入机，其特征在于包括：离子源，配置成提供离子束；终端结构，定义一空腔，所述离子源至少部分地设置于所述空腔内；绝缘导体，具有至少一介质鳍片，所述介质鳍片设置于所述终端结构的外部附近以改变电场。
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