[发明专利]搬运装置的停止检测方法有效
申请号: | 200880106566.5 | 申请日: | 2008-09-19 |
公开(公告)号: | CN101802996A | 公开(公告)日: | 2010-08-11 |
发明(设计)人: | 藤井佳词 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人: | 齐永红 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种搬运装置的停止检测方法,不必增加零件即可迅速可靠地检测动作后的搬运装置的停止,可提高产量和利用率。所述搬运装置具有驱动电机(3)、以及安装在该驱动电机(3)的旋转轴(4)一侧的搬运臂(6),所述驱动电机(3)在旋转轴(4)上作用有旋转方向的作用力时可产生感应电动势。在所述搬运臂(6)的另一侧保持被搬运物(S),通过所述驱动电机(3),使旋转轴仅(4)旋转到规定的旋转角时停止旋转,检测由于搬运臂(6)的振动而产生的所述感应电动势,当所述检出的感应电动势到达小于等于规定值时,判断搬运臂(6)停止。 | ||
搜索关键词: | 搬运 装置 停止 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种搬运装置的停止检测方法,所述搬运装置包括:一个驱动电机;以及安装在该驱动电机旋转轴一侧的搬运臂,所述驱动电机在旋转轴上作用有旋转方向的作用力时可产生感应电动势,其特征在于该方法包括:在所述搬运臂的另一侧保持被搬运物,通过所述驱动电机,使旋转轴仅旋转到规定的旋转角时停止旋转,检测由于搬运臂的振动而产生的所述感应电动势;以及当所述检出的感应电动势到达小于等于规定值时,判断搬运臂停止。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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