[发明专利]制备高纯度六氯乙硅烷的方法有效

专利信息
申请号: 200880108573.9 申请日: 2008-10-07
公开(公告)号: CN101815672A 公开(公告)日: 2010-08-25
发明(设计)人: W·克尼斯;K·伯格尔沙森;H·艾博迈尔 申请(专利权)人: 瓦克化学股份公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 过晓东
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种通过蒸馏包含六氯乙硅烷的混合物制备六氯乙硅烷的方法,其特征在于,在蒸馏的过程中水的存在量不超过10ppbw(以重量计十亿分之一份)。
搜索关键词: 制备 纯度 六氯乙 硅烷 方法
【主权项】:
一种通过蒸馏包含六氯乙硅烷的混合物制备六氯乙硅烷的方法,其特征在于,在蒸馏中水的存在量不超过10ppbw以重量计十亿分之一份。
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