[发明专利]电子组件制造流出物的环境空气减弱的设备与方法有效
| 申请号： | 200880108753.7 | 申请日： | 2008-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101801505A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | M·W·柯里;B·佩奇;S·W·克瑞福德;R·韦梅伦;W·D·派泽尔;Y·劳德;R·T·科雷亚;D·S·布朗;A·福克斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/56 | 分类号： | B01D53/56;B01D53/86;C01B21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种减弱系统，其包含：1)一减弱单元，适于减弱流出物；以及2)一环境空气供应系统，包含有一空气移动装置，其中该环境空气供应系统适于供应环境空气至该减弱单元以用作为一氧化剂。本发明亦提供多种其它实施方式。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 组件 制造 流出物 环境 空气 减弱 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种减弱系统，包含：减弱单元，适于减弱一流出物；以及环境空气供应系统，包含一空气移动装置；其中该环境空气供应系统适于将环境空气供应至该减弱单元以用作氧化剂。
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