[发明专利]具有存在反应性气体空间分离的气体输送头和通过该输送头的基材运动的形成薄膜用的方法和沉积系统

摘要

公开了在基材上沉积薄膜材料的方法，包括从薄膜沉积系统的输送头的输出面朝基材表面同时引导一系列气流，其中所述一系列气流包括至少第一反应性气态材料、惰性吹扫气体和第二反应性气态材料，其中第一反应性气态材料能与用第二反应性气态材料处理过的基材表面反应。还公开了能够进行这种方法的系统。

主权项

将固体材料薄膜沉积到基材上的系统，包括：A)至少第一、第二和第三气态材料的至少第一、第二和第三源；(B)具有基材表面和单位面积平均重量的基材；(C)将气态材料输送至用于薄膜沉积的基材表面的沉积输送头，其包括：i)分别用于接收第一、第二和第三气态材料的至少第一、第二和第三入口；ii)至少一个用于排出废气的排气端口；和iii)邻近基材表面的输出面，包括多个细长开口，其中(a)各入口独立地连向沉积输送头的面中的至少一个第一、第二和第三细长输出口，各自与相应的细长第一、第二和第三细长发射通道相连，以向基材供应各自的气态材料；且(b)至少一个排气端口连向沉积输送头的面中的至少两个细长排气口，各自与相应的细长排气通道相连，各自具有相关压力，其中布置至少两个细长排气口以使至少第一、第二或第三细长输出口位于至少两个细长排气口之间；且其中至少部分通过由一种或多种气态材料流从细长输出口到基材表面产生的压力保持输出面与基材表面之间的基本均匀的距离，且其中以帕斯卡为单位测得的大气压与细长排气口的平均压力之差为也以帕斯卡为单位测得的基材单位面积平均重量的至少两倍。