[发明专利]ZnO蒸镀材料和其制造方法、和ZnO膜有效
| 申请号： | 200880108823.9 | 申请日： | 2008-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101809186A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 黛良享 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C04B35/453;C04B38/02;C04B38/06;C04B38/10;C23C14/34;H01B5/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蔡晓菡;孙秀武 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明为用于形成透明导电膜的ZnO蒸镀材料，其以ZnO多孔烧结体为主体，所述ZnO多孔烧结体含有选自Ce、La、Y、Pr、Nd、Pm、Sm的一种或二种以上的第一添加元素、和选自Al、Ga、Sc、B的一种或二种以上的第二添加元素，第一添加元素的含量比第二添加元素的含量多，第一添加元素的含量为0.1～14.9质量％，第二添加元素的含量在0.1～10质量％的范围。该烧结体具有3～50％的孔隙率。 | ||
| 搜索关键词： | zno 材料 制造 方法 | ||
【主权项】：
ZnO蒸镀材料，其用于形成透明导电膜，其包含ZnO多孔烧结体，该烧结体含有Ce和Al，Ce含量比Al含量多，Ce含量在0.1～14.9质量％的范围，Al含量在0.1～10质量％的范围，且该烧结体具有3～50％的孔隙率。
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