[发明专利]改进的碳化硅颗粒及其制造方法和使用方法无效
| 申请号： | 200880110145.X | 申请日： | 2008-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN101815771A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | A·K·巴克希;I·K·切瑞恩 | 申请（专利权）人： | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C04B41/50 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 改进的碳化硅颗粒、改进的碳化硅磨料颗粒、以及用于化学机械平面化(CMP)方法的磨料浆料组合物，这些颗粒可以包括纳米碳化硅颗粒，特别是具有与硅石相似的表面化学性的碳化硅颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 碳化硅 颗粒 及其 制造 方法 使用方法 | ||
【主权项】：
包括碳化硅的纳米颗粒。
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