[发明专利]用于金属的化学机械抛光的浆料组合物以及使用其的抛光方法有效
| 申请号： | 200880111053.3 | 申请日： | 2008-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101821354A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 周霍摩;金元来;卢钟一;李仁庆;李泰永 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张英 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于金属的化学机械抛光(CMP)的浆料组合物。该浆料组合物包括其平均分子量为从约600,000至约1,300,000并且其单体为丙烯酸和丙烯酰胺以约1∶30至约30∶1的摩尔比的共聚物。该浆料组合物呈现出非普列斯东行为以达到最小化的凹陷并获得高的平坦化程度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属 化学 机械抛光 浆料 组合 以及 使用 抛光 方法 | ||
【主权项】：
一种用于金属的化学机械抛光(CMP)的浆料前体组合物，包括：液体载体、研磨剂、络合剂、腐蚀抑制剂以及共聚物，其中，所述共聚物具有约600,000至约1,300,000的平均分子量并且包括以约1∶30至约30∶1的共聚合比的丙烯酸和丙烯酰胺单体。
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