[发明专利]真空容器的压力控制方法及压力控制装置

摘要

本发明提供一种真空处理装置的真空容器的压力控制方法，真空处理装置具有设置在真空容器的气体排出管的真空阀、测量真空容器内压力的压力计以及检测真空阀的阀开度的开度检测器，其中，基于根据真空阀的实际阀开度求出的推测排出气体量和在上次运算周期求出的推测流入气体量间的气体流量差，通过计算求出虚拟真空容器中的压力，基于该求出的计算压力与压力计测量的实际的真空容器的测量压力之差求出当前的推测流入气体量，在该推测流入气体量上加上基于作为目标的设定压力与测量压力间的压力偏差得到的校正气体量，求出设定排出气体量，并控制真空阀的阀开度以成为该设定排出气体量。

主权项

一种真空容器的压力控制方法，用于控制真空处理装置的上述真空容器的压力，上述真空处理装置包括连接气体的供给管路和排出管路的真空容器、设置在上述排出管路并能开关该排出管路的真空阀、测量上述真空容器内的压力的压力计以及检测真空阀的阀开度的开度检测器，上述压力控制方法的特征在于，具有以下步骤：第一步骤，根据由上述开度检测器检测的真空阀的阀开度求出推测排出气体量，基于考虑到该推测排出气体量的气体量，计算求出计算模型上的虚拟真空容器内的压力；第二步骤，基于在上述第一步骤中求出的计算压力与由上述压力计测量的实际的真空容器的测量压力间的压力差，求出推测流入气体量；和第三步骤，在上述第二步骤中求出的推测流入气体量上，加上基于作为目标的设定压力与测量压力间的压力偏差而得到的校正气体量，求出设定排出气体量，并且，在每个规定周期反复执行上述各步骤，控制上述真空阀的阀开度，以成为上述第三步骤中求出的设定排出气体量，且在上述第一步骤中，关于在求出虚拟真空容器中的计算压力时使用的气体量，使用通过从第二步骤求出的推测流入气体量减去推测排出气体量而得到的气体流量差。