[发明专利]机械整合并且紧密连接的印刷头和烟雾源有效
申请号: | 200880113517.4 | 申请日: | 2008-09-02 |
公开(公告)号: | CN101842165A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 布鲁斯·H·金;格雷戈里·詹姆斯·马克斯;迈克尔·J·雷恩 | 申请(专利权)人: | 奥普托美克公司 |
主分类号: | B05B1/00 | 分类号: | B05B1/00;B05B5/00;C23C16/00;H01L21/44 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王旭 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种沉积装置,所述装置包括在结构上与沉积头整合的一个或多个雾化器。整个沉积头可以是可更换的,并且可以用材料预先填充。沉积头可以包括多个喷嘴。此外,还提供一种用于三维材料沉积的装置,所述装置包括与不可倾斜的雾化器连接的可倾斜沉积头。还提供用于同时或依次沉积不同材料的方法和装置。 | ||
搜索关键词: | 机械 整合 并且 紧密 连接 印刷 烟雾 | ||
【主权项】:
一种用于沉积材料的沉积头,所述沉积头包括:一个或多个载气进口;一个或多个雾化器;气溶胶歧管,其在结构上与所述一个或多个雾化器整合;一个或多个气溶胶输送导管,其与所述气溶胶歧管流体连接;包覆气体进口;以及一个或多个材料沉积出口。
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