[发明专利]微机械系统无效
| 申请号： | 200880113985.1 | 申请日： | 2008-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN101842313A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | T·皮尔克;A·弗兰克;K·克尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械系统(1)，其包括基板(100)、悬挂装置(130)、基底(140)和微机械传感器(150)，该悬挂装置(130)将该基底(140)可运动地支承在该基板(100)上方，并且，该微机械传感器(150)被设置在该基底(140)上。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 | ||
【主权项】：
微机械系统(1，2，3，4，5)，包括：基板(100)；悬挂装置(130，1301，1302，1303)，基底(140)，其中，该悬挂装置(130，1301，1302，1303)将该基底(140)可运动地支承在该基板(100)上方，和微机械传感器(150，151，152)，其特征在于，该微机械传感器(150，151，152)被设置在该基底(140)上。
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