[发明专利]涡轮分子泵无效
申请号: | 200880114192.1 | 申请日: | 2008-10-30 |
公开(公告)号: | CN101842597A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 海因里希·恩伦德尔 | 申请(专利权)人: | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D27/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 田军锋;魏金霞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种涡轮分子泵(10),包括泵壳体(14)和多个单独的环形定子叶片盘(16),所述盘共同形成环形盘组(18)。在所述环形盘组(18)与泵壳体(14)之间直接布置有圆柱形摩擦衬套(20)。在所述环形盘组(18)与泵壳体(14)之间设置有轴向间隙(22),从而使所述环形盘组(18)能够转动。 | ||
搜索关键词: | 涡轮 分子 | ||
【主权项】:
一种涡轮分子泵(10),包括泵壳体(14)和多个单独的环形定子叶片盘(16),所述盘共同形成环形盘组(18),其中在所述环形盘组(18)与所述泵壳体(14)之间直接布置有圆柱形摩擦衬套(20),并且在所述环形盘组(18)与所述泵壳体(14)之间设置有轴向间隙(22),从而使所述环形盘组(18)能够转动。
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