[发明专利]用于监控和调整低温冷却的设备和方法有效
| 申请号： | 200880114431.3 | 申请日： | 2008-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN101842678A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | Z·朱雷克基;R·E·小诺尔;J·L·格伦 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | G01K13/00 | 分类号： | G01K13/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 谭佐晞;杨楷 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于通过测量从低温冷却装置(112)产生的蒸气云(113)的不透明度来监控和/或控制低温冷却的设备和方法。通过测量穿过蒸气云(113)的光束(127)的强度的下降来确定不透明度。不透明度的测量被用来控制系统的操作参数，诸如低温冷却装置(112)的冷却率。不透明度的测量可被归一化以补偿变量，除了工件(119)的温度和冷却率外，该变量是还可影响蒸气云(113)的不透明度的变量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监控 调整 低温 冷却 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种供具有当操作时产生蒸气云的低温冷却构件的系统使用的设备，所述设备包括：第一发射器，其适合发射处在第一初始强度的第一光束；第一接收器，其具有适合探测第一感测强度的第一传感器，所述第一感测强度为当所述第一光束被定向在所述第一传感器时所述第一光束在所述第一传感器处的强度，所述第一接收器适合产生第一传感器信号，所述第一传感器信号为所述第一感测强度的函数，所述第一发射器和第一传感器具有第一操作位置，其中所述第一发射器和第一传感器定位和定向成使得所述第一光束被定向到所述第一传感器上，并且所述第一光束在被所述第一传感器接收之前穿过所述蒸气云至少一次；以及控制器，对其进行编程以基于控制器数据设定和/或调节所述系统的至少一个操作参数，所述控制器数据包括所述第一传感器信号。
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