[发明专利]用于沉积电绝缘层的方法有效
| 申请号： | 200880115233.9 | 申请日： | 2008-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN101855699A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | J·拉姆;C·沃尔拉布 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫) |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;王忠忠 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种操作电弧源的方法，其中在目标的表面点燃或操作火花放电，并且同时利用分配有直流电压DV的直流电流以及由周期性施加的电压信号所生成的脉冲电流来馈送该火花放电。在此，所述电弧源上的电压在几微秒的时间跨度上被提高，以及所述电压信号的信号形状基本上可以自由调整。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 绝缘 方法 | ||
【主权项】：
一种用于操作电弧源的方法，其中在目标(5)的表面上点燃或操作电火花放电，并且同时利用分配有直流电压DV的直流电流以及由周期性施加的电压信号所生成的脉冲电流来馈送所述火花放电，其特征在于，电弧源上的电压在几微秒的时间跨度上被提高。
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